Optimisation des procédés de fabrication de semi-conducteurs grâce aux vannes revêtues de Bray

Fabrication de semi-conducteurs

La gamme complète de vannes, d'actionneurs et d'accessoires de Bray est conçue et éprouvée sur le terrain pour les applications exigeantes des fabricants de wafers pour semi-conducteurs, où les finitions de surface sans fissure jusqu'à 5 Ra, la passivation garantie des surfaces en contact avec le produit et la fiabilité sont essentielles au processus de fabrication des puces. Les vannes d'isolement et de contrôle à revêtement PFA de Bray conviennent parfaitement aux fluides de traitement humides et à la réduction de la perte de particules dans la fabrication de la prochaine génération de micropuces de moins de [#0]} nm.

Des performances fiables pour l'osmose inverse et la récupération de l'eau

Garantir la pureté de l'eau dans la fabrication de semi-conducteurs

De l'osmose inverse à la déionisation, les vannes Bray assurent la fiabilité des applications dans le domaine des semi-conducteurs.

Solutions Bray pour

Osmose inverse

Les usines de fabrication de dispositifs à semi-conducteurs consomment généralement des millions de gallons d'eau par jour dans une variété d'applications allant des processus de fabrication des wafers aux installations et aux services généraux. Le principal procédé de traitement utilisé pour préparer une eau de haute pureté dans la fabrication de wafers est l'osmose inverse. L'eau brute est d'abord prétraitée pour éliminer les matières solides, puis traitée par osmose inverse pour éliminer les composés organiques. L'eau à haut niveau de pureté provenant du système d'osmose inverse est stockée pour être utilisée dans la fabrique wafers tandis que les systèmes d'appoint comblent les pertes. Les systèmes d'osmose inverse sont également utilisés pour le recyclage des eaux usées dans les usines de fabrication de wafers avant de les évacuer ou de les réutiliser. Les vannes, actionneurs et accessoires de Bray sont utilisés dans les applications d'osmose inverse pour les semi-conducteurs, notamment :

  • Eau de refroidissement du processus (PWC)

  • Haute pureté

  • Nettoyage des wafers

  • Centrales de traitement

  • Recyclage des eaux usées

  • Eau de refroidissement du processus

  • Installations d'eau désionisée

Solutions Bray pour

Eau ultra-pure

Lorsque la lithographie rétrécit en dessous de 10 nm, le besoin d'eau ultra-pure devient extrêmement critique pour le processus de fabrication des wafers. L'eau ultra-pure (UPW) est une eau qui a été purifiée selon des critères extrêmement strictes afin d'établir une composition et des propriétés spécifiques. L'eau ultra-pure est générée par le traitement d'une eau de haute pureté à travers un système de traitement utilisant une tuyauterie d'ultra-haute pureté, également connue sous le nom de tuyauterie pvdf, afin d'éliminer les contaminants, les minéraux, les micro-organismes et les traces de produits chimiques organiques et non organiques, et de produire une eau de qualité déterminée à utiliser dans la fabrication des wafers. Selon la définition de la norme SEMI F63 pour le grade UPW utilisé dans la fabrication des semi-conducteurs, la gamme de produits Bray est conçue pour satisfaire ou dépasser les exigences les plus strictes de l'industrie requises par les normes SEMI F104 et SEMI F54. Les vannes de Bray pour semi-conducteurs sont nettoyées, ensachées et étiquetées dans les salles blanches de Bray, ce qui garantit que les vannes répondent à ces critères strictes. Les vannes Bray se retrouvent dans les solutions de polissage, les systèmes de stockage et de distribution de l'UPW, y compris le nettoyage, le rinçage, le conditionnement de surface, la gravure humide, le traitement par solvant et la méthode de préparation chimique et mécanique des wafers.

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Eau désionisée

La désionisation (« eau DI » ou « déminéralisation ») signifie simplement l'élimination des ions. L'eau désionisée (eau DI, DIW ou eau dé-ionisée), souvent synonyme d'eau déminéralisée / eau DM, est une eau dont on a retiré presque tous les ions minéraux, tels que les cations comme le sodium, le calcium, le fer et le cuivre, et les anions comme le chlorure et le sulfate. L'eau désionisée est une eau dont on a retiré 99 % de tous les ions minéraux, ce qui donne une eau purifiée sans bactéries. L'eau désionisée est généralement produite à l'aide d'un procédé d'échange d'ions chargés électriquement, comme un réservoir de résine échangeuse d'ions également appelé réservoir de désionisation mixte ou système de réservoir en résine échangeuse d'ions. Il faut plus de 6000 gallons d'eau déminéralisée (DI) pour traiter une seule plaquette de 300 mm dans une usine de fabrication de semi-conducteurs. Il faut compter entre 4 et 6 gallons d'eau de ville brute pour produire chaque gallon d'eau désionisée.

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Récupération de l'eau

La gestion de l'eau est essentielle pour l'industrie des semi-conducteurs. Dans le secteur de la fabrication des semi-conducteurs, les installations utilisent de l'eau ultra-pure (UPW) pour le traitement des wafers. Après utilisation, l'eau ultra-pure est évacuée du système comme effluent. Les effluents rejetés contiennent généralement des produits chimiques dangereux et des ions métalliques tels que le cyanure, le pyrazole, l'acide piranha, l'acide peroxymonosulfurique et d'autres composés toxiques. En raison de la toxicité des eaux usées, celles-ci doivent être traitées et réutilisées ou évacuées de l'usine de wafers sous forme d'eau pure et propre. Les vannes Bray pour la récupération de l'eau, le traitement des effluents, le recyclage et le rejet ont fait leurs preuves sur le terrain.

Certifié et fiable

par des milliers d'entreprises dans le monde entier

Nos produits sont soumis à des tests de performance et sont conformes à diverses certifications et homologations mondiales, notamment Lloyd's Register, UL, ABS et bien d'autres encore.

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